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船舱、仓库与建筑物等
硫酰氟浓度监测
系统方案
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2022.08.01
一、方案概述
硫酰氟是一种优秀的广谱熏蒸剂，也是国际上常用的熏蒸剂之一，广泛用于建筑物、交通工具、仓库等场所，以控制白蚁、鼠类等有害生物。由于硫酰氟不破坏臭氧层，沸点低，不燃、不爆，具有渗透力强，熏蒸用量小，解吸快，对金属类、棉织品、毛类、皮革、塑料、工艺品等无腐蚀、无色泽影响，可在有仪器和电子设备的“敏感"区域使用，使用时不需辅助热源，具有使用方便、灵活等优点。
由于硫酰氟在常温下即呈无色无味的气态，在熏蒸期间，容易因熏物场所密闭性不佳而达不到应有的效果，或因环境中残留浓度超过安全限值而发生中毒事故，我国曾发生一起未测木材中残留量而加工使用，结果导致8人集体中毒的事故。因此，在进行熏蒸处理时，应用硫酰氟现场检测技术是保证熏蒸效果和防止中毒事故发生的重要技术措施。
主要特点：
1.通风不良，容易造成硫酰氟气体残留;此特点是造成熏物场所中毒事故的主要原因，所以在进入熏物场所前首先必须保证该空间内有足够的无害的空气。
2.对于某些熏物场所，内部构造的复杂也是导致事故的原因之一。
应用场所：
1.出入境贸易中的船舱、车厢、交通工具的货仓;
2.废旧交通工具、集装箱、废旧物品;
3.堆放货物的场地、纺织品、住宅、木材、文史档案和标本馆。
4.仓库、货船、集装箱和建筑物、水库堤坝、白蚁与害虫防治。
针对熏物场所中，若遇到常温、潮湿、含粉尘的监测环境，则需用到气体在线监测预处理装置。
系统主要功能包括：
（1） 前置预处理装置，使恒定的样气送至气体检测仪表。
（2） 实时监测熏物场所的硫酰氟气体的含量，达到一定浓度时实时报警。
（3） 通过上位机系统监控中心实时观看有限空间的现场情况。
（4） 在监控中心实时记录以上各监测数据，对数据统一集中管理。
（5） 并能通过声光报警、LED屏幕显示等多种方式发出报警信息，及时告知维护管理责任人。
（6） 气体浓度达到对应设置的报警值时联动泵/阀/风机等设备。
二、执行标准
GB3836.1-2010《爆炸性气体环境用电气设备 第一部分：通用要求》
GB3836.2-2010《爆炸性气体环境用电气设备 第二部分：隔爆型“d" 》
GB 3836.15-2000 《爆炸性气体环境用电气设备第 15 部分：危险场所电气安装( 煤矿除外) 》
GBT50493-2019 《石油化工可燃气体和有毒气体检测报警设计标准》
GB12358-2006 《作业场所环境气体检测报警仪通用技术要求》
GBZ/T 223-2009《工作场所有毒气体检测报警装置设置规范》
GBZ 2.1-2007 《工作场所有害因素职业接触限值》
GB 4208-2008 《外壳防护等级（IP 代码）》
三、方案介绍与设计
3.1 检测点的定位
首先通过对熏物场所的细致分析，初步确定设置气体监测仪的最佳位置或必要设置点。从而保证硫酰氟气体充分被监测到，使险情及时被探知。
3.2 气体探头的选择
对于任何进入熏物场所作业的人员，了解硫酰氟的含量非常重要。针对常见实际环境与自然条件，选用红外NDIR原理的硫酰氟探测器。
四、产品参数：
硫酰氟在线监测预处理系统（简易款）
型 号 | SK-7500-SO2F2-JY |
产品名称 | 硫酰氟在线监测预处理系统、硫酰氟在线监测系统、空气质量监测系统、微型空间站、大气网格化空气质量监测系统等。 |
类 型 | 工业级实时在线监测型 |
显示方式 | 气体检测仪LCD液晶显示、可选配7寸触摸彩屏显示 |
工作方式 | 固定式连续在线工作，泵吸式检测（正压、负压、真空等环境） |
外壳材质 | 不锈钢材质，可定制防爆款 |
输出信号 | ①4-20mA信号：标准的12位精度4-20mA输出芯片，传输距离1Km； ②RS485信号：采用标准MODBUS RTU协议，传输距离1Km； ③电压信号：0.4-2V,0-5V、0-10V输出，选配（电压输出与电流输出二选一）； ④开关量信号：标配1组无源触点继电器，容量220VAC 3A/24VDC 3A； ⑤无线传输：DTU、LORA等无线模块（选配）。 |
检测介质 | 硫酰氟，可定制搭配其它可燃、有毒有害气体 |
检测原理 | 红外NDIR |
检测范围 | 0-100ppm（根据技术原理而定） |
分 辨 率 | 0.1ppm（根据量程而定） |
检测误差 | ≤±3%F.S（全量程内≤3%）更高精度可订制 |
重 复 性 | ≤±1% |
线性误差 | ≤±1% |
响应时间（T90） | T90≤30S（不同气体响应时间不同，可参考常用气体选型表） |
工作电压 | DC24V（12V～30V） |
工作温度 | -20℃~50℃ 特殊要求：（-40℃～+70℃） |
工作湿度 | 10-95%RH（无冷凝） |
工作压力 | 91～111Kpa（大气101kpa±10%）（根据传感器与使用环境而定） |
传感器寿命 | 2～6年（根据传感器原理与使用的环境而定） |
采样湿度 | 0～99%RH |
工作电压 | 220VAC，50HZ，200瓦 |
防护级别 | IP65 防水型（可选户外使用） |
安装方式 | 壁挂式，地角安装，可选配立柱式安装支架 |
选配附件 | （温控器、加热器）系统加热：在极寒地区防止管路出现冰冻、防爆外箱、温湿度测量、减压阀（可选配油水分离）、高粉尘反吹装置、文丘里、散热分风扇； 电脑监控配件：免费上位机软件、USB 转 RS485 转换连接线，如果要网络传输还需 RS485 转网口转换器。 |
主机报警控制器
型 号 | SK-6500-NY | ||
显示内容 | 气体名称、量程单位、实测值、时间、报警状态、历史数据等 | ||
测量单位 | ppm、ppb、%LEL、%VOL、mg/m3、mg/L、g/m3、ug/m3、%rh、℃、MPa、KPa、Pa等 | ||
输入电源 | AC220V | 功 耗 | 小于 7W |
输出电源 | DC24V/2A | 安装模式 | 壁挂式 |
响应时间 | ≤30S | 报警设定 | 4 种模式自由设定 |
接收信号 | 4-20MA、RS485（标准 ModbusRTU 协议） | 报警模式 | 蜂鸣器报警 |
工作温度 | -20～50℃ | 工作湿度 | 0～95%RH 无凝露 |
存 储 | U盘存储历史数据：格式为CSV，可存储10万条记录，可U盘导出、打印或删除数据； U盘存储报警记录（选配），格式为CSV，可存储2000条记录，可U盘导出、打印或删除数据。 | ||
输出触点 | 默认4个常开触点，触点容量30V/3A或250V/3A，继电器模块可扩展输出触点可交叉配置 | ||
尺 寸 | 330*270*115mm（长*宽*高），采用向左开门结构。 | ||
便携式硫酰氟气体检测仪
型 号 | SK/MIC-SO2F2-Y | ||
类 型 | 便携式、手持式、泵吸式 | ||
显示内容 | 气体名称、量程单位、实测值、时间、电池剩余量、气泵、声音、报警状态、浓度曲线图等 | ||
采样方式 | 主动吸入+270mm采样管 | ||
检测气体 | 硫酰氟，可搭配任意1～6种可燃、有毒有害气体，可参考气体选型表 | ||
检测原理 | 红外NDIR（进口） | ||
检测范围 | 0-100ppm 可定制 | ||
分 辨 率 | 0.1ppm 参考气体选型表 | ||
检测误差 | ≤±3%F.S 更高精度可订制 | ||
重 复 性 | ≤±1% | ||
线性误差 | ≤±1% | ||
工作环境 | 温度：-20℃～50℃；湿度：10-95%RH，(无冷凝) | ||
工作压力 | 91～111Kpa（大气101kpa±10%）（根据传感器与使用环境而定） | ||
响应时间 | ≤30S（不同气体响应时间不同，可参考常用气体选型表） | 使用寿命 | 2～8年（根据传感器、使用的情况与使用环境而定） |
语言界面 | 中文简体/英文 | 按 键 | 8个 |
工作电流 | ≤50mA | 充电方式 | Micro USB 充电器 |
报警方式 | 声、光提示 | 电池容量 | 5400mA锂电池 |
输出信号 | USB数据采集，30万组信息存储 | 外壳材质 | 防腐蚀塑料，铝合金 |
显示屏 | 3.5寸高清彩屏，仿真菜单图标 | 防护等级 | IP65 |
附件 | 检测仪、包装箱（340*220*130mm约2.0kg）、说明书、合格证、充电器、数据线、出货单各一份 | ||
五、外形尺寸：
（气体在线监测预处理系统-简易款）
（便携式多合一气体检测仪）
（主机报警控制器）
六、直视单元面板：
（固定式单一显示界面）
（便携式气体显示界面）
七、内部结构:
（简易款内部结构）
八、电气接线定义图：
海洋之神590线路检测中心主页可燃气体检测报警器量程参照法规：
关于有毒有害气体接触限值与其浓度多少时对人体的危害等相关问题，请咨询海洋之神590线路检测中心主页销售人员。
常用气体选型表
检测气体 | 量程 | 最大允许 误差值 | 最小读数 | 响应时间T90 |
可 燃气(E X) | 0-100%LEL | ＜±3%(F.S) | 0.1%LEL | ≤10秒 |
可 燃气(E X) | 0-100%Vol | ＜±3%(F.S) | 0.1%Vol | ≤10秒 |
甲 烷(C H4) | 0-100%LEL | ＜±3%(F.S) | 0.1%LEL | ≤10秒 |
甲 烷(C H4) | 0-100%Vol | ＜±3%(F.S) | 0.1%Vol | ≤10秒 |
氧 气(O 2) | 0-30%Vol | ＜±3%(F.S) | 0.01%Vol | ≤10秒 |
氧 气(O 2) | 0-100%Vol | ＜±3%(F.S) | 0.01%Vol | ≤10秒 |
氧 气(O 2) | 0-5000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤30秒 |
氮 气(N 2) | 0-100%Vol | ＜±3%(F.S) | 0.01%Vol | ≤10秒 |
一氧 化碳(C O) | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.1ppm | ≤25秒 |
一氧 化碳(C O) | 0-1000ppm | ＜±3%(F.S) | 0.1ppm | ≤25秒 |
一氧 化碳(C O) | 0-2000ppm | ＜±3%(F.S) | 0.1ppm | ≤25秒 |
一氧 化碳(C O) | 0-20000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤25秒 |
一氧 化碳(C O) | 0-100000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤25秒 |
二氧 化碳(C O 2) | 0-500ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤20秒 |
二氧 化碳(C O 2) | 0-2000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤20秒 |
二氧 化碳(C O 2) | 0-5000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤20秒 |
二氧 化碳(C O 2) | 0-50000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤30秒 |
二氧 化碳(C O 2) | 0-20%Vol | ＜±3%(F.S) | 0.01%Vol | ≤30秒 |
二氧 化碳(C O 2) | 0-100%Vol | ＜±3%(F.S) | 0.01%Vol | ≤30秒 |
甲 醛(CH 2O) | 0-10ppm | ＜±3%(F.S) | 0.001ppm | ≤30秒 |
甲 醛(CH 2O) | 0-10ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
甲 醛(CH 2O) | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
甲 醛(CH 2O) | 0-1000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤45秒 |
臭 氧(O 3) | 0-1ppm | ＜±3%(F.S) | 0.001ppm | ≤20秒 |
臭 氧(O 3) | 0-5ppm | ＜±3%(F.S) | 0.001ppm | ≤20秒 |
臭 氧(O 3) | 0-50ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤20秒 |
臭 氧(O 3) | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤20秒 |
臭 氧(O 3) | 0-2000ppm | ＜±3%(F.S) | 0.1ppm | ≤30秒 |
臭 氧(O 3) | 0-30000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤30秒 |
臭 氧(O 3) | 0-20mg/L | ＜±3%(F.S) | 0.01mg/L | ≤30秒 |
臭 氧水(O 3) | 0-20mg/L | ＜±3%(F.S) | 0.01mg/L | ≤30秒 |
硫化 氢(H 2S) | 0-10ppm | ＜±3%(F.S) | 0.001ppm | ≤30秒 |
硫化 氢(H 2S) | 0-50ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
硫化 氢(H 2S) | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
硫化 氢(H 2S) | 0-2000ppm | ＜±3%(F.S) | 0.1ppm | ≤30秒 |
硫化 氢(H 2S) | 0-10000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤45秒 |
二氧 化硫(SO 2) | 0-10ppm | ＜±3%(F.S) | 0.001ppm | ≤30秒 |
二氧 化硫(SO 2) | 0-20ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
二氧 化硫(SO 2) | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
二氧 化硫(SO 2) | 0-500ppm | ＜±3%(F.S) | 0.1ppm | ≤30秒 |
二氧 化硫(SO 2) | 0-2000ppm | ＜±3%(F.S) | 0.1ppm | ≤30秒 |
二氧 化硫(SO 2) | 0-10000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤30秒 |
一氧 化氮(N O) | 0-10ppm | ＜±3%(F.S) | 0.001ppm | ≤30秒 |
一氧 化氮(N O) | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
一氧 化氮(N O) | 0-2000ppm | ＜±3%(F.S) | 0.1ppm | ≤30秒 |
一氧 化氮(N O) | 0-5000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤30秒 |
二氧 化氮(N O 2) | 0-10ppm | ＜±3%(F.S) | 0.001ppm | ≤25秒 |
二氧 化氮(N O 2) | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤25秒 |
二氧 化氮(N O 2) | 0-1000ppm | ＜±3%(F.S) | 0.1ppm | ≤30秒 |
二氧 化氮(N O 2) | 0-5000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤30秒 |
二氧 化氮(N O 2) | 0-10ppm | ＜±3%(F.S) | 0.001ppm | ≤30秒 |
氮氧 化物(N OX) | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
氮氧 化物(N OX) | 0-2000ppm | ＜±3%(F.S) | 0.1ppm | ≤30秒 |
氮氧 化物(N OX) | 0-5000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤30秒 |
氯 气(CL 2) | 0-10ppm | ＜±3%(F.S) | 0.001ppm | ≤30秒 |
氯 气(CL 2) | 0-20ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
氯 气(CL 2) | 0-200ppm | ＜±3%(F.S) | 0.1ppm | ≤30秒 |
氯 气(CL 2) | 0-2000ppm | ＜±3%(F.S) | 0.1ppm | ≤30秒 |
氨 气(N H3) | 0-50ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
氨 气(N H3) | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
氨 气(N H3) | 0-1000ppm | ＜±3%(F.S) | 0.1ppm | ≤30秒 |
氨 气(N H3) | 0-5000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤30秒 |
氨 气(N H3) | 0-100%LEL | ＜±3%(F.S) | 0.1%LEL | ≤10秒 |
氢 气(H 2) | 0-100%LEL | ＜±3%(F.S) | 0.1%LEL | ≤10秒 |
氢 气(H 2) | 0-1000ppm | ＜±3%(F.S) | 0.1ppm | ≤30秒 |
氢 气(H 2) | 0-20000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤30秒 |
氢 气(H 2) | 0-40000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤30秒 |
氢 气(H 2) | 0-100%Vol | ＜±3%(F.S) | 0.01%Vol | ≤20秒 |
氦 气(H e) | 0-100%Vol | ＜±3%(F.S) | 0.01%Vol | ≤20秒 |
氩 气(A r) | 0-100%Vol | ＜±3%(F.S) | 0.01%Vol | ≤20秒 |
氙 气(X e) | 0-100%Vol | ＜±3%(F.S) | 0.01%Vol | ≤20秒 |
氰化 氢(H CN) | 0-30ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
氰化 氢(H CN) | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
氯化 氢(H CL) | 0-20ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
氯化 氢(H CL) | 0-200ppm | ＜±3%(F.S) | 0.1ppm | ≤30秒 |
磷化 氢(P H3) | 0-5 ppm | ＜±3%(F.S) | 0.001ppm | ≤30秒 |
磷化 氢(P H3) | 0-25 ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
磷化 氢(P H3) | 0-2000 ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤30秒 |
二氧 化氯(CLO 2) | 0-1ppm | ＜±3%(F.S) | 0.001ppm | ≤30秒 |
二氧 化氯(CLO 2) | 0-10ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
二氧 化氯(CLO 2) | 0-200ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
环氧 乙烷(ET O) | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
环氧 乙烷(ET O) | 0-1000ppm | ＜±3%(F.S) | 0.1ppm | ≤30秒 |
环氧 乙烷(ET O) | 0-100%LEL | ＜±3%(F.S) | 1%LEL | ≤30秒 |
光 气(C OCL 2) | 0-1ppm | ＜±3%(F.S) | 0.001ppm | ≤20秒 |
光 气(C OCL 2) | 0-50ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤20秒 |
硅 烷(Si H4) | 0-1ppm | ＜±3%(F.S) | 0.001ppm | ≤30秒 |
硅 烷(Si H4) | 0-50ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
氟 气(F 2) | 0-1ppm | ＜±3%(F.S) | 0.001ppm | ≤30秒 |
氟 气(F 2) | 0-10ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
氟 气(F 2) | 0-50ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
氟化 氢(H F) | 0-10ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
氟化 氢(H F) | 0-50ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
溴化 氢(HB r) | 0-50ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
(B2 H6) | 0-10ppm | ＜±3%(F.S) | 0.001ppm | ≤30秒 |
砷化 氢(As H3) | 0-1ppm | ＜±3%(F.S) | 0.001ppm | ≤30秒 |
砷化 氢(As H3) | 0-10ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
砷化 氢(As H3) | 0-50ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
锗 烷(Ge H4) | 0-2ppm | ＜±3%(F.S) | 0.001ppm | ≤30秒 |
锗 烷(Ge H4) | 0-20ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
联 氨(N 2 H4) | 0-1ppm | ＜±3%(F.S) | 0.001ppm | ≤30秒 |
联 氨(N 2 H4) | 0-300ppm | ＜±3%(F.S) | 0.1ppm | ≤30秒 |
四氢 噻吩(TH T) | 0-100mg/m3 | ＜±3%(F.S) | 0.01 mg/m3 | ≤60秒 |
溴 气(B r2) | 0-10ppm | ＜±3%(F.S) | 0.001ppm | ≤30秒 |
溴 气(B r2) | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
溴 气(B r2) | 0-2000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤30秒 |
乙 炔(C2H 2) | 0-100%LEL | ＜±3%(F.S) | 0.1%LEL | ≤30秒 |
乙 炔(C2H 2) | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
乙 炔(C2H 2) | 0-1000ppm | ＜±3%(F.S) | 0.1ppm | ≤30秒 |
乙 烯(C2 H4) | 0-100%LEL | ＜±3%(F.S) | 0.1%LEL | ≤30秒 |
乙 烯(C2 H4) | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
乙 烯(C2 H4) | 0-2000ppm | ＜±3%(F.S) | 0.1ppm | ≤30秒 |
乙 醛（C2 H4O） | 0-10ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
乙 醇(C2 H6O) | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
乙 醇(C2 H6O) | 0-2000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤30秒 |
甲 醇(C H6O) | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
甲 醇(C H6O) | 0-2000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤30秒 |
二硫 化碳(C S2) | 0-50ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
二硫 化碳(C S2) | 0-5000ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
丙烯 腈(C3 H3N) | 0-50ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
丙烯 腈(C3 H3N) | 0-2000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤30秒 |
甲 胺(C H5N) | 0-50ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
典 气(I 2) | 0-50ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
苯乙 烯(C8 H8) | 0-200ppm | ＜±3%(F.S) | 0.1ppm | ≤30秒 |
苯乙 烯(C8 H8) | 0-5000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤30秒 |
氯乙 烯(C2H3 CL) | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
三氯 乙烯(C2H CL3) | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
四氯 乙烯(C2 CL4) | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
笑 气(N 2O) | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
三氟 化氮(N F3) | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
过氧 化氢(H 2O 2) | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
硫酰 氟(SO 2F 2) | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
硫酰 氟(SO 2F 2) | 0-30000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤30秒 |
硫酰 氟(SO 2F 2) | 0-200g/m3 | ＜±3%(F.S) | 0.1g/m3 | ≤30秒 |
硫酰 氟(SO 2F 2) | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
硫酰 氟(SO 2F 2) | 0-5000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤30秒 |
硫酰 氟(SO 2F 2) | 0-10000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤30秒 |
C6 H6 | 0-10ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
C6 H6 | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
C6 H6 | 0-2000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤30秒 |
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